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MEMS 센서 란 무엇일까요?

 

MEMS는 Micro Electro Mechanical Systems의 약자로, 반도체 기술에 의해 만들어진 마이크로 구조체에 센서와 액추에이터, 전자 회로가 집적된 장치입니다. 반도체 제조 공정으로 만들 수 있기 때문에, 소형화, 집적화가 가능한 장점을 가지고 있습니다.

우리 주변에서는 스마트폰의 마이크나 가속도 센서, 자이로 센서와 자동차 에어벡을 위한 충돌 감지 센서를 대표적으로 쉽게 접할 수 있습니다.

 

Murata의 MEMS 6DoF관성센서 

 

Murata는 자율 오프 하이웨이 차량, 동적 경사 감지 및 GNSS 포지셔닝 지원을 위한 새로운 MEMS 6DoF (6 자유도) 관성 센서를 개발했습니다. 이 센서는 첨단 운전자 보조 시스템(ADAS), 자율 주행 차량 및 GNSS 기반 측정 기기를 위한 기술과 새로운 솔루션을 더욱 발전시킬 수 있습니다. 이 제품은 바이어스 안정성 및 노이즈와 같은 주요 매개 변수에서 구성 요소 수준에서 사용할 수 있는 최고의 성능을 제공합니다. 

 

Murata의 새로운 SCHA63T 센서는 이러한 수준의 성능을 제공하는 세계 최초의 단일 패키지 6DoF 컴포넌트입니다.  그동안 이러한 관성 센서 성능은 값 비싼 고급 IMU 모듈에서만 가능했습니다. 하지만 SCHA63T 센서는 기계 역학 및 위치 감지에서 센티미터 수준의 정확도를 가능하게 하며 안전하고 견고하며 검증된 설계를 보장하는 데 도움이 될 수 있습니다. SCHA63T 제품 개발의 주요 초점 영역 중 하나는 높은 기계적 충격 및 진동 시 작동을 보장하는 것이었습니다.  동일한 제품 군 내에 자동차 AEC-Q100 표준에 따라 인증된 센서 도 있습니다. SHCA63T 센서에는 몇 가지 고급자가 진단 기능이 포함되어 있으며 ASIL-D (자동차 안전 수준)를 완벽하게 준수할 수 있습니다.

 

Murata는 차체자세제어장치(ESC)와 같은 안전에 중요한 자동차 애플리케이션을 위한 관성 센서를 제공 한 20 년 이상의 경험을 가지고 있습니다. 이 센서 제품 군의 개발에전문 지식을 활용했습니다.  SCHA63T 센서는 진단을 위한 광범위한 페일 세이프 기능과 오류 비트를 제공하고 있습니다. 여기에는 내부 기준 신호 모니터링, 통신 확인을 위한 체크섬 기술, 신호 포화/ 범위 초과 감지가 포함됩니다.

 

 Murata 3 축 가속도계의 고유 한 진단 기능은 측정 중에 센서를 모니터링하는 지속적으로 작동하는 자체 테스트 기능입니다. 이 특허 받은 자체 테스트 기능은 MEMS 센서 요소 이동에서 모든 측정주기에 대한 신호 컨디셔닝 회로에 이르는 전체 신호 체인의 적절한 작동을 확인합니다. SCHA63T를 사용하는 시스템이 국제 안전 표준을 따를 필요가 없더라도 제공된 설계 지원 문서를 통해  비용 효율적이고 견고하며 빠른 설계 프로세스를 수행하실 수 있습니다.

 

SCHA63T Specification

SCHA63T 제품은 정확한 관성 데이터를 필요로 하며, 높은 정확도와 신뢰성이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 위성 측위 시스템(GNSS)과의 통합으로 신뢰성이 높고, 자주 업데이트되는 관성 데이터를 사용하여 견고하고 정확한 위치 측정이 가능합니다. 

다음과 같은 애플리케이션으로 활용이 가능합니다. 

 

· 관성 측정 장치 (IMU)

· 네비게이션, 자기 위치 측정

· GPS어시스턴스, 지형/자세 교정측량 장비

· 기계 제어・지침

· 농업 기계 정밀 지도건설 기계 자율성 및 운전자 지원

· 동적 경사 측정

· 모션 분석 및 제어

· 플랫폼 및 카메라 안정화

· 로봇 제어 및 무인 항공기

제품 상세는 6DoF 자이로가속도콤보센서「SCHA63T시리즈」에서 확인이 가능합니다!

* 출처

- 한국무라타전자 매거진, https://koreamuratablog.tistory.com

- 무라타, https://murata.com

      

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